为什么在真空环境中，镀金反射器如此重要？
如果你在真空环境中对硅片进行加热，那你一定已经意识到，普通的加热原理在这里是行不通的。因为无法利用对流来传递热量，只能依靠辐射来实现加热效果。 问题在于：如果使用普通的抛光铝或不锈钢作为反射材料，那么大量的能量就会被浪费掉——这些能量并没有作用于硅片上，而是被吸收到了灯罩中。这显然是一种浪费。 镀金的优点 我们选择使用镀金层，是因为黄金对红外光有很好的反射能力。它不仅能反射光线，还能将热量从灯壳中排出，使其准确传递到需要加热的地方。 这样一来，你支付的每一瓦特电能都能真正作用于硅片表面。这样就能实现更精确的温度控制，而且升温速度也会更快。整体来说，这种加热方式的效果更好。 处理热量问题 不过，也有一个难题：当如此多的能量被集中在一个小空间内时，温度会迅速上升。 由于黄金具有高效的能量集中能力，因此冷却系统必须足够完善。如果冷却系统不够强大，就会出现反射器变形或灯密封件损坏的问题。我见过一些情况下，由于热量过于集中，普通的密封件根本无法承受，不得不更换为专门设计的耐高温密封件，才能避免真空环境被破坏。 权衡利弊 这类加热器可以轻松地安装在半导体加工设备中。不过，使用时需要格外小心。 镀金层非常薄，因此请务必不要用磨砂布来擦拭它，否则镀层会被刮掉，从而降低加热效率。建议使用柔软的布以及合适的溶剂来清洁它。 总而言之，虽然这种加热方式能带来更好的温度均匀性以及更低的能耗，但使用时也需要更加小心地对待它，因为它比一般的工业加热器更为精密。