真空室红外线加热器
防止事故发生:在化学真空环境中使用红外加热器 说实话,将红外加热器放入充满易燃化学溶剂的真空箱中,其实是一种非常危险的做法。一方面是高温,另一方面则是易爆炸的蒸汽。一旦有微小的火花或灯罩出现泄漏,那就不仅仅是设备故障的问题了,而是灾难性的后果。
为了解决这个问题,我们完全放弃了开放式灯具,转而使用...
与真空环境兼容的红外加热器
为什么在真空环境中,镀金反射器如此重要? 如果你在真空环境中对硅片进行加热,那你一定已经意识到,普通的加热原理在这里是行不通的。因为无法利用对流来传递热量,只能依靠辐射来实现加热效果。 问题在于:如果使用普通的抛光铝或不锈钢作为反射材料,那么大量的能量就会被浪费掉——这些能量并没有作用于硅片上,而...