用于晶圆的精密红外传感器

停止给整个设备加热，而是直接对晶圆进行加热吧。 在处理晶圆时的红外辐射问题时，这类系统有个令人烦恼的习性：它们会加热除目标物体之外的所有部件。 如果你曾经感觉到设备内部的温度过高，那你就知道这有多麻烦了。这不仅浪费能源，还会带来安全隐患。一旦设备内部的部件被烧毁，或者更糟糕的是，操作人员也会面临危...