用于晶圆的精密红外传感器
停止给整个设备加热,而是直接对晶圆进行加热吧。
在处理晶圆时的红外辐射问题时,这类系统有个令人烦恼的习性:它们会加热除目标物体之外的所有部件。
如果你曾经感觉到设备内部的温度过高,那你就知道这有多麻烦了。这不仅浪费能源,还会带来安全隐患。一旦设备内部的部件被烧毁,或者更糟糕的是,操作人员也会面临危...
MEMS传感器晶圆干燥加热器
在干燥MEMS晶圆时保持其洁净无瑕 在干燥MEMS传感器晶圆时,热量只是解决问题的一个方面。真正需要克服的难题是各种颗粒物。如果在100级洁净室中工作,您应该很清楚:哪怕有一小片损坏的纤维或少量气体析出物,整个批次的产品都可能会被毁掉。 因此,我们选择使用高纯度的合成石英红外灯。这种灯效果非常好。...
智能传感器封装红外线技术
别再凭猜测来控制温度了:让红外系统真正变得智能 如果您正在规划一座现代化的工厂,那么您应该已经意识到,仅仅提高温度已不足以满足需求。我们需要超越传统的加热方式,将热能视为真正的“数据”来处理。
基本上,热量源需要能够实时反馈当前的情况。这就是智能红外系统的用武之地。
告别“设置后不管”的模式 大多...
氢气传感器制造用加热器
别让微小的泄漏毁掉你的氢气传感器 在制造氢气传感器时,控制好温度至关重要。不过,真正需要警惕的并不是高温本身,而是电气泄漏问题。
绝缘层上哪怕有一个微小的孔隙,或者焊接不牢固,都可能导致整个传感器阵列短路,从而让整个生产过程付诸东流。
为什么我们要对每一个部件进行测试 我们不会采取“批量抽样”的方...
晶圆加工设备用温度传感器
为何选择红外固化技术来处理半导体晶圆 在干燥和固化半导体晶圆的过程中,红外技术无疑是最佳选择。它让我们可以摒弃那些复杂的溶剂,以及那些需要很长时间才能加热的庞大、耗能极高的对流式烤箱。
其原理在于:红外光能够精确地作用于粘合剂或光阻材料中的特定分子振动,从而在需要的位置实现固化,而不会让整个设备变...