Hören Sie auf, Ihre Energie zu verschwenden: Die Wahrheit über goldbeschichtete IR-Lampen
Wenn Sie Halbleiterwafer verarbeiten, wissen Sie, dass jeder Watt zählt. Es gibt nichts Frustrierenderes, als für Energie zu bezahlen, die einfach verschwindet.
Das Problem ist folgendes: Standardquarzlampen strahlen Energie in alle Richtungen ab – also in alle 360 Grad. Das bedeutet, dass etwa die Hälfte der kostbaren Energie dazu dient, das Gehäuse der Maschine zu erwärmen, anstatt tatsächlich den Wafer zu erreichen. Das ist reine Verschwendung.
Wir haben dieses Problem gelöst, indem wir eine hochreine Goldbeschichtung auf die Rückseite der Lampe aufgetragen haben.
Warum Gold?
Es geht nicht um den Glanz des Goldes. Gold ist einfach hervorragend darin, Infrarotlicht zurückzuspiegeln. Andere Materialien wie Aluminium oder Silber neigen dazu, bei hohen Temperaturen zu zerkratzen oder zu oxidieren. Gold hingegen bleibt stabil.
Man kann Gold als „Spiegel für Wärme“ betrachten. Anstelle der Photonen, die sonst in alle Richtungen abgelenkt werden, wird die Energie direkt auf den Wafer gerichtet. Dadurch entsteht ein konzentrierter Energiestrahl. Das Beste daran: Man erhält mehr Wärme am Wafer, ohne die Leistung der Stromversorgung erhöhen zu müssen.
Ein Wort der Vorsicht bezüglich der Energie
Da die Energie nun konzentriert wird, entstehen sehr hohe Temperaturen am Fokuspunkt. Die Wärmedichte ist dabei viel höher als bei einer normalen Lampe.
Sie müssen daher darauf achten, Ihre PID-Controller richtig einzustellen. Da die Wärme schneller ankommt, müssen Sie diese so einstellen, dass die Temperatur schneller ansteigt – andernfalls könnten Sie die gewünschte Temperatur überschreiten.
Wir empfehlen diese Lampen insbesondere für Hochleistungsanwendungen, bei denen wenig Platz zur Verfügung steht. Da Gold mehr Energie nach vorne leitet, können oft weniger Lampen verwendet werden. Dadurch entfällt ein großer Teil der Belastung für die Stromversorgung.
Die Kompromisse
Goldbeschichtungen sind keine Wunderlösung. Durch die zusätzliche Schicht ändert sich die Art und Weise, wie die Lampe Wärme abgibt. Wenn Sie bei niedrigen Temperaturen arbeiten, kann diese zusätzliche Intensität zu Hotspots führen. Überprüfen Sie daher unbedingt Ihren thermischen Gradienten, damit der Wafer nicht durch die konzentrierte Energie verformt wird.
Und bitte: Stellen Sie sicher, dass die Lampe genau ausgerichtet ist. Wenn sie auch nur leicht geneigt ist, verfehlt der reflektierte Strahl das Ziel. In diesem Fall sind Sie wieder am Ausgangspunkt – und alle Effizienzverluste bleiben bestehen.