רכיב חימום לתהליך הליתוגרפיה

בתהליך הליתוגרפיה, טמפרטורת החימום הנמוכה אינה בחירה שרירותית – זו דרישה הכרחית. יש צורך בהסרה אחידה של החומרים המדביקים, מקצה לקצה, בכל שבב. כל...