Elemento riscaldante per ossidazione dei wafer
Introduzione
Parliamo seriamente degli elementi di riscaldamento a infrarossi utilizzati negli impianti per l’ossidazione delle wafer. La domanda...
Lampada per la rimozione dell umidità nei wafer
Nella linea da 300 mm, l’umidità rimasta dopo la pulizia rappresenta un problema silenzioso che si manifesta solo quando è troppo tardi. Questa...
Supporto tecnico per il riscaldamento dei wafer
Nel reparto di litografia, si impara rapidamente che anche un piccolo cambiamento nella temperatura durante il processo di cottura del fotoresist può...