クリーンルームでの戦いをやめよう：なぜIRがスマートファブに適しているのか
スマートファブを構築する際、従来の対流式オーブンはあまり効果的ではないことに気づくでしょう。クリーンルームでは、ほこりが最大の敵です。それだけです。一方、強制送風式オーブンは巨大なファンのように働き、不必要な場所で微粒子を舞い上げ、乱流を生み出します。
そこで登場するのが赤外線（IR）です。赤外線は熱い空気を送り込む代わりに、放射によってエネルギーを伝達します。風もほこりもありません。
熱をデータとして活用する
インダストリー4.0ではデータが重要です。したがって、加熱システムもブラックボックスになってはいけません。私たちのIRシステムは、PLCやSCADAネットワークに簡単に接続できるように設計されています。
最良な点は、IRランプはほぼ瞬時に反応することです。古い抵抗素子は温まるのに時間がかかりますが、IRランプはすぐに動作します。これにより、PID制御が本来の機能を果たすことができます。ワット数や表面温度をリアルタイムで把握できます。測定できれば、同じ結果を繰り返すことができます。これこそが、ウェーハや半導体で一貫した結果を得る唯一の方法です。
トレードオフ（完璧なものはないから）
大量の熱が必要な場合、通常は短波長のIRエミッタを使用します。しかし、この方法には問題があります。高強度のランプは取り付け部分が非常に熱くなります。冷却装置や筐体の材質を適切に選ばないと、センサーの精度が低下します。センサーの精度が低下すると、先ほど述べたようなデジタル的な精度も失われてしまいます。ですから、今から冷却装置に時間をかけて準備しておくことが大切です。そうすれば、後でデータの信頼性を確保できます。
スペースを節約し、ストレスを減らす
配置の面から見ても、IRはずっと簡単です。巨大なダクトや大型の送風機を使う必要がありません。
また、迅速に設置できるように配線も工夫されています。HVACシステム全体を再構築する必要なく、生産ラインを拡張できます。空気を循環させないため、HEPAフィルターもそれほど負担をかけずに済みます。
これは、加熱や硬化処理を行うためのより効率的な方法です。メンテナンスチームも喜ぶでしょう。彼らは、ダクトのほこりを掃除する代わりに、プロセスの最適化に時間を費やすことができます。