マシンを加熱するのではなく、ウェーハを直接加熱しましょう。
ウェーハ処理において赤外線を利用する際、このような問題があります。つまり、実際に加熱したい部分以外のすべての部分が過度に加熱されてしまうのです。
装置の内側の壁面が危険なほど熱くなることがあれば、その苦労はご存知でしょう。これは単なるエネルギーの無駄遣いだけでなく、重大なリスクでもあります。壁面が過度に熱くなると、部品が損傷したり、最悪の場合、機械を操作している人に安全上の危険が及ぶこともあります。
私たちは、方向性のある赤外線加熱を利用してこの問題を解決します。
**標準的なランプの問題点は、**エネルギーが全方位に放出されることです。狭いチャンバー内では、そのエネルギーの半分が壁面で反射してしまいます。そうなると、高価な装置が巨大で非効率的なオーブンと化してしまいます。
私たちは、特殊な反射板や精密なセンサーを使って、エネルギーを正確にウェーハ表面に向けます。そうすることで、エネルギーは直接ウェーハ表面に届き、チャンバーの他の部分は影響を受けません。
**一番良い点は、ハードウェアが冷たいままでいられることです。**高温での処理中でも、外側のケースに触れても手が火傷する心配はありません。エネルギーが必要な場所に正確に集中するので、目標温度に到達するのが早くなります。ハードウェアは過度に熱くなることはありません。
しかし、これは魔法の杖ではありません。何かしらの妥協点があります。
ビームを絞ると、中心部の温度が急上昇します。もし赤外線センサーやPIDコントローラーの調整が不完全だと、部分的に過度に加熱されたり、最悪の場合、ウェーハが焼けてしまうこともあります。
また、位置合わせも非常に重要です。数ミリの誤差があるだけで、均一性が失われてしまいます。常々、フルパワーでの処理を行う前に、ランプの位置をしっかりと調整するように伝えています。
結局のところ、方向性のある赤外線加熱によって、巨大で重たい冷却システムを使わずに、より高い温度を実現できるのです。これはごく当たり前のことです——エネルギーを本来あるべき場所に置くのです。