オゾンフリー赤外線ランプ

ウェーハの汚染を未然に防ぐ：IRランプをより効果的に扱う方法 大量生産の半導体製造において、ランプが破損するというのは、単なる問題や短時間の停止にとどまらず、本当に悪夢のような状況です。 例えば、クォーツ管がウェーハのすぐ上で壊れてしまったと想像してみてください。それは単なる電球の破損ではなく、ガ...