ウェーハ硬化ランプ用反射器

化学物質の近くでウェーハを加熱処理する際に、安全を確保するためにはどうすればよいでしょうか？ 正直に言って、高熱を発するIRランプを可燃性の洗浄剤のそばに置くのは、災害を招く行為です。もし、不安定な環境で通常のランプを使用すると、まるでクリーンルーム内に火災を引き起こすようなものです。これは非常に...