深紫外線 DUV レジストベークランプ

Role リソグラフィフロアでは、レジストベイク温度の0.2℃のドリフトは「小さな偏差」ではありません。それは歩留まりが出口から失われることを意味します。ソフトベイクは溶剤のプロファイルを設定し、ハードベイクはイメージを固定します。どちらもウェハごとに繰り返し同じ熱供給が必要です。ベイクプロファイ...