炭化ケイ素 SiC ファーネスランプ

実際の工程においては、熱ドリフトというのは理論上の概念に過ぎず、実用性はない。ウェハの乾燥、フォトレジストのソフトベイクやハードベイク、エンカプセル剤の硬化処理、そして洗浄後の乾燥など、すべてが厳格な温度管理のもとで行われる。もし設定された温度が保てなければ、寸法制御が乱れ、接着力が低下し、最終的...