왜 우리는 기존의 욕실 히터 대신 IP65 등급의 적외선 히터를 사용하는가? 솔직히 말해서, 그런 구식 욕실용 히터들은 그다지 유용하지 않습니다. 사실상 그건 그냥 열을 내는 일반적인 전구에 불과합니다. 문제는 습기를 견디지 못한다는 점입니다. 습기가 전기 접점에 닿...

서론 웨이퍼 산화용으로 사용되는 산업용 적외선 가열 요소에 대해 진지하게 알아보도록 하겠습니다. 가장 중요한 질문은 이것입니다: 국산 적외선 램프가 수입된 램프를 대체할 수 있을까? 기계를 전면 교체하거나 공정에 문제가 생기는 위험 없이 말입니다. 답은 ‘네’입니다....

리소그래피 공정에서는 부드러운 가열 온도라는 개념은 존재하지 않습니다. 그것은 엄격한 제약 조건입니다. 모든 웨이퍼에 대해 일관된 방식으로 용매를 제거해야 합니다. 약간의 온도 변동이나 과열 현상이 생기면 CD 정밀도가 떨어집니다. 저희는 이러한 제약 조건 내에서 작...