웨이퍼의 오염을 막기 위해: 왜 우리는 금 코팅된 트윈-튜브 램프를 만들었는가? 대규모 반도체 공장에서 램프가 고장 나는 것은 큰 재앙입니다. 단순히 가동 중단 문제만이 아닙니다. 석영관이 파열되면 그 파편과 화학물질들이 웨이퍼 위로 날아옵니다. 한 번만 고장나도 웨...

리소그래피 작업장에서 포토레지스트 베이크 윈도우는 지침이 아니라 공정 그 자체다. 소프트 베이크나 하드 베이크 시 2°C의 온도 변동은 임계 치수 제어를 흐트러뜨려 라인이 정지된다. 빠르고 안정적으로 열이 전달되며 오염 없이 유지되어야 한다. 핵심은 단순하다....