기계를 가열하는 것을 그만두고 웨이퍼를 직접 가열해 보세요. 웨이퍼 처리 과정에서 적외선을 사용할 때, 이러한 시스템들은 한 가지 문제가 있습니다. 바로 실제로 가열하고 싶은 부분 외의 모든 부분도 함께 가열된다는 점입니다. 장비의 내부 벽면이 위험할 정도로 뜨거워진...

물건이 폭발하지 않고 적절하게 가열하기 만약 적외선 램프를 화학 세정 공정에 사용한다면, 아마도 최악의 상황을 이미 염두에 두고 있을 것입니다. VOC나 인화성 기체들과 같은 위험한 물질들이 존재하기 때문입니다. 조금만 스파크가 생기거나 부품이 손상되어도 큰 문제가...