쿼츠 할로겐 적외선 방사체

제조 현장에서는, 베이크 온도가 0.5°C만 변해도 치명적인 오차가 발생할 수 있습니다. 그로 인해 많은 양의 웨이퍼가 폐기되게 됩니다. 웨이퍼 전체의 열 균일성과 일관된 포토레지스트 성능은 단순한 이론이 아닙니다. 이것들은 생산 효율을 높이기 위해 반드시 고려해야...