포토레지스트 제거용 서포트 히터

리소그래피 공정에서 스트리핑은 단순한 정지 과정이 아니라, 반드시 깔끔하게 수행되어야 하는 열 공정이다. 포토레지스트가 완전히 제거되어야 하며 잔류물, 재침착 없이 웨이퍼 스택에 스트레스를 가하지 않아야 한다. 서포트 히터가 목표 온도에 도달하지 못하면 즉시 라인에...