진공 환경에서도 사용 가능한 적외선 히터

왜 진공 상태에서는 금 코팅된 반사체가 중요한지 진공 상태에서 실리콘 웨이퍼를 가열할 때는 일반적인 원칙들이 적용되지 않습니다. 대류를 이용할 수 없으며, 오직 복사에만 의존해야 합니다. 문제는, 일반적인 알루미늄이나 스테인리스 스틸을 사용할 경우 에너지가 낭비된다는...