웨이퍼 수분 제거 히터 램프

300mm 공정에서는 세척 후에도 잔여 수분이 남아 있으며, 이는 너무 늦어지기 전까지는 문제로 인식되지 않습니다. 이러한 수분은 포토레지스트 층으로 스며들어 열 균형을 깨뜨리고, 노광 후에는 웨이퍼 표면에 이상 현상을 유발합니다. 웨이퍼 내부의 수분을 제거하기 위해...