스마트 팩토리에서 효과적인 열 관리를 실현하는 방법 만약 인더스트리 4.0형 공장을 구축하고 있다면, 이제는 기존의 낡은 가열 방식으로는 충분하지 않다는 것을 알고 있을 것입니다. 우리는 “설정해두고 그대로 두는” 방식에서 벗어나, 실제 데이터를 활용하는 방식으로 나...

화학물질을 사용하여 웨이퍼를 처리할 때 안전을 유지하는 방법 솔직히 말해서, 고온의 적외선 램프를 가연성 세정제 근처에 두는 것은 재앙을 부르는 행위입니다. 만약 변동성이 큰 환경에서 일반적인 램프를 사용한다면, 그건 마치 청정실에 화재를 초대하는 것과 같습니다. 이...

기계를 가열하는 것을 그만두고 웨이퍼를 직접 가열해 보세요. 웨이퍼 처리 과정에서 적외선을 사용할 때, 이러한 시스템들은 한 가지 문제가 있습니다. 바로 실제로 가열하고 싶은 부분 외의 모든 부분도 함께 가열된다는 점입니다. 장비의 내부 벽면이 위험할 정도로 뜨거워진...

건조 과정에서 MEMS 웨이퍼를 깨끗하게 유지하는 방법 MEMS 센서 웨이퍼를 건조할 때는 열만으로는 부족합니다. 진짜 문제는 미세한 입자들입니다. 만약 클래스 100 등급의 클린룸에서 작업한다면, 그 고통을 잘 알고 있을 것입니다. 조금만 낡은 필라멘트 조각이나 가...

클래스 100급 청정실에서 작업할 때, 단 한 알의 먼지라도 큰 문제가 됩니다. 만약 가열 요소에서 입자들이 떨어져 나온다면, 전체 제품이 망가질 수 있습니다. 그래서 우리는 일반적인 유리나 저품질의 석영을 사용하지 않습니다. 이러한 재료들은 열이 가해지면 조각나거나...

왜 반도체 웨이퍼의 건조 및 경화에 적외선을 사용하는가? 반도체 웨이퍼를 건조하고 경화시킬 때는 적외선이 최적의 방법입니다. 이 방식을 사용하면 복잡한 용매나, 오랜 시간이 걸려서 가열되는 대형 오븐들을 사용할 필요가 없습니다. 적외선의 장점은 접착제나 포토레지스트...

리소그래피 공정에서는, 단지 0.5도만큼의 온도 변화라도 발생해도 CD의 편차가 허용 범위를 벗어난다는 것을 금방 깨닫게 됩니다. 또한, 가열 과정에서 열이 과도하게 분포되면 검사에 문제가 생깁니다. 웨이퍼 가열은 그냥 사소한 과정이 아닙니다. 이는 패턴이 형성될 각...