반도체 청정실용 트롤리 히터

와퍼를 따뜻하게 유지하는 방법: 적외선 히터의 진실 스마트 팹을 운영한다면, 와퍼나 기판을 옮길 때 발생하는 문제들을 잘 알고 있을 것입니다. 운반 중에 온도가 조금이라도 낮아지면 문제가 생깁니다. 그래서 저희는 트롤리 히터로 단파 적외선을 사용합니다. 가장 좋은 점...