Aixtron 히터 요소 예비 부품

페브 플로어에서 Aixtron MOCVD 장비는 열 변화를 용납하지 않는다. 히터 요소가 성능 저하를 시작하면 곧바로 알 수 있다. 웨이퍼 온도 균일성이 무너지고, 공정 간 반복성이 불안정해지며, 에피택시 스택의 열 예산 관리가 제대로 되지 않는다. 그 결과는 폐기되...