딥 UV(DUV) 레지스트 베이크 램프

리소그래피 작업장에서, 레지스트 베이크 온도가 0.2°C 변동하는 것은 “작은 편차”가 아니다. 이는 수율 손실을 의미한다. 소프트 베이크는 솔벤트 프로파일을 설정하고, 하드 베이크는 이미지를 고정한다. 두 공정 모두 웨이퍼마다 동일한 열 공급이 반드시 필요하다. 베...