웨이퍼 처리 장비용 온도 센서

왜 반도체 웨이퍼의 건조 및 경화에 적외선을 사용하는가? 반도체 웨이퍼를 건조하고 경화시킬 때는 적외선이 최적의 방법입니다. 이 방식을 사용하면 복잡한 용매나, 오랜 시간이 걸려서 가열되는 대형 오븐들을 사용할 필요가 없습니다. 적외선의 장점은 접착제나 포토레지스트...