진공 챔버용 적외선 히터
폭발을 막는 방법: 화학적으로 반응성이 높은 용매가 있는 진공 상태에서의 적외선 가열
솔직히 말해서, 가연성 화학 용매가 들어 있는 진공 챔버 안에 적외선 히터를 넣는 것은 매우 위험한 일입니다. 한쪽에는 고온이 있고, 다른 쪽에는 폭발성 기체가 있습니다. 작은 스파...
진공 환경에서도 사용 가능한 적외선 히터
왜 진공 상태에서는 금 코팅된 반사체가 중요한지
진공 상태에서 실리콘 웨이퍼를 가열할 때는 일반적인 원칙들이 적용되지 않습니다. 대류를 이용할 수 없으며, 오직 복사에만 의존해야 합니다.
문제는, 일반적인 알루미늄이나 스테인리스 스틸을 사용할 경우 에너지가 낭비된다는...