와퍼를 따뜻하게 유지하는 방법: 적외선 히터의 진실
스마트 팹을 운영한다면, 와퍼나 기판을 옮길 때 발생하는 문제들을 잘 알고 있을 것입니다. 운반 중에 온도가 조금이라도 낮아지면 문제가 생깁니다. 그래서 저희는 트롤리 히터로 단파 적외선을 사용합니다.
가장 좋은 점은 적외선이 복사열을 이용한다는 것입니다. 공기를 이동시킬 필요가 없기 때문에, 클린룸에서 매우 유용합니다. 공기가 움직이지 않으므로 불필요한 입자들이 여기저기 날아다니지 않습니다. 간단하죠.
정확한 데이터 확보
요즘은 데이터가 기록되지 않으면 아무 일도 일어나지 않았다고 볼 수 있습니다. 저희는 적외선 시스템이 고객님의 현재 시스템과 연동될 수 있도록 합니다. PID 컨트롤러를 PLC에 연결함으로써, 온도 변화를 실시간으로 확인할 수 있습니다. 마치 열 처리 과정을 디지털로 확인하는 것과 같습니다. 각 배치별로 얼마나 많은 열이 가해졌는지 명확하게 알 수 있습니다. 추측할 필요가 없습니다.
속도와 성능
저희는 속도를 위해 이러한 장비를 만들었습니다. 단파 적외선 램프는 몇 초 만에 목표 온도에 도달합니다. 구식 저항식 가열 요소에서 나타나는 지연 현상은 없습니다.
트롤리가 너무 크지 않도록, 저희는 고출력 밀도의 램프를 사용합니다. 하지만 주의해야 할 점이 있습니다. 이러한 램프들은 많은 전류를 소모합니다. 매우 빠른 가열이 필요하다면, 케이블과 전력 공급 장치가 최대 부하를 견딜 수 있는지 반드시 확인해야 합니다. 열이 가장 필요한 순간에 전압이 떨어지면 안 됩니다.
클린룸의 한계
모든 것을 깨끗하게 유지하기 위해, 저희는 석영 소재를 사용합니다. 석영은 가스를 방출하지 않으며, 입자도 배출하지 않습니다. 하지만 석영은 깨지기 쉽습니다. 정밀도는 뛰어나지만, 충격에는 버티지 못합니다. 그래서 트롤리 프레임에 튼튼한 보호 장치를 추가하는 것이 좋습니다. 램프가 깨지면, 긴 다운타임 없이 빠르게 교체할 수 있습니다.