Unsur pemanas untuk proses lithografi jenis soft bake .
Dalam proses litografi, suhu pemanasan yang sesuai bukanlah sesuatu yang boleh dipilih secara sembarangan – ia merupakan syarat wajib yang perlu...
Lampu pembakar penahan UV Dalam (DUV)
Pada lantai litografi, pergeseran suhu penaik resist sebesar 0.2°C bukanlah “penyimpangan kecil.” Ia bermakna hasil pengeluaran yang hilang. Soft...