Het behouden van de warmte van uw wafers: de waarheid over IR-ovens voor transportsystemen
Als u een Smart Fab hebt, kent u vast al de uitdagingen die gepaard gaan met het verplaatsen van wafers en ondergronden. Één te lage temperatuur tijdens het transport kan al tot problemen leiden. Daarom maken we gebruik van kortegolfige infraroodstraling voor onze ovens voor transportsystemen.
Het goede nieuws is dat infraroodstraling gebruikmaakt van stralingswarmte. Er is geen behoefte om lucht te bewegen om te werken – wat erg handig is in een schone ruimte. Geen luchtstromingen betekent ook dat er geen ongewenste deeltjes rondvliegen. Eenvoudig.
Het opnemen van de juiste gegevens
Tegenwoordig geldt: als het niet wordt gemonitord, is het alsof het nooit heeft plaatsgevonden. We zorgen ervoor dat onze IR-systemen goed samenwerken met uw bestaande apparatuur. Door PID-regelaars te koppelen aan uw PLC, kunt u in real-time zien wat er gebeurt met de temperatuurverschillen.
Het is net alsof u een digitaal ‘spiegelbeeld’ hebt van uw thermische proces. U krijgt een duidelijk overzicht van hoeveel warmte elke batch heeft gekregen. Geen giswerk meer nodig.
Snelheid en vermogen
We hebben deze ovens ontworpen voor maximale snelheid. Kortegolfige IR-lampen bereiken de gewenste temperatuur in slechts enkele seconden. U hoeft zich geen zorgen te maken over de vertraging die wordt veroorzaakt door traditionele resistieve verwarmingselementen.
Om te voorkomen dat de transportsystemen te zwaar worden, gebruiken we lampen met een hoge vermogensdichtheid. Maar let op: deze lampen vragen veel stroom. Als u zeer snelle opwarmtijden wilt, moet u ervoor zorgen dat uw kabels en stroomvoorziening het maximale vermogen aankunnen. U wilt immers geen voltagedaling op het moment dat u de warmte het meest nodig hebt.
De compromissen in een schone ruimte
Om alles schoon te houden, gebruiken we kwartsomhullingen. Deze geven geen gassen af en verspreiden geen deeltjes.
Maar er is een nadeel: kwarts is broos. Het is ideaal voor precisiewerk, maar het kan niet veel hebben. Het is belangrijk om stevige bescherming te bouwen rondom de lampen, zodat ze niet beschadigen. Een beschadigde lamp kan grote problemen veroorzaken voor de zuiverheid van de schone ruimte. Om het gemakkelijker te maken, raden we een modulair design aan. Op deze manier kunt u snel een nieuwe lamp vervangen en weer verder werken, zonder lange stilstand.