На литографическом этаже окно запекания фоторезиста — это не ориентир, а сам процесс. Колебание температуры на 2°C при мягком или жестком запекании...

На полупроводниковом заводе вы знаете, как мягкая выпечка, которая отклоняется всего на 0.2°C, повлияет на ваши критические размеры, а жесткая...