停止给整个设备加热，而是直接对晶圆进行加热吧。
在处理晶圆时的红外辐射问题时，这类系统有个令人烦恼的习性：它们会加热除目标物体之外的所有部件。
如果你曾经感觉到设备内部的温度过高，那你就知道这有多麻烦了。这不仅浪费能源，还会带来安全隐患。一旦设备内部的部件被烧毁，或者更糟糕的是，操作人员也会面临危险。
我们通过使用定向红外加热来解决这个问题。
**普通灯具的问题在于：**它们会将热量向各个方向散发——也就是360度全方位加热。在密闭的空间里，有一半的能量会被墙壁反射掉。这样一来，那些昂贵的设备就变成了效率极低的“烤箱”。
我们则通过专用的反射器和精确的传感器来解决问题，从而将热量精准地导向需要加热的位置。这样，能量就能直接作用于晶圆表面，而不会影响设备的其他部分。
**最棒的是：你的设备不会过热。**在高温环境下，你仍然可以触摸设备的外壳，而不用担心烫伤手。因为我们将热量集中在了需要的地方，所以能更快达到目标温度。设备也就不必承受过高的温度压力了。
不过，这并不是什么神奇的解决方案。它也有其局限性。
当你缩小加热范围时，中心点的温度会急剧上升。如果红外传感器和PID控制器没有调整好，就可能会出现局部过热的情况，甚至导致晶圆被烧毁。
另外，对准精度也很重要。只要偏差几毫米，加热的均匀性就会受到影响。我总是建议大家：在开始全功率运行之前，先仔细校准灯具的位置。
总而言之，定向红外加热技术让你能够在不需要庞大冷却系统的情况下获得更高的温度。这其实就是常识——把能量用在真正需要它的地方。