石英卤素红外发射器

在晶圆制造过程中，如果烘烤温度有0.5°C的偏差，那么晶圆的尺寸就会发生纳米级的变化——而这恰恰会导致大量产品报废。因此，确保晶圆表面的温度均匀性以及光刻胶处理过程的稳定性至关重要。石英卤素红外光源能够提供稳定且精确的热量，适用于各种需要精确控温的环节，比如软烘烤、硬烘烤以及曝光前的预处理阶段。在...