MEMS传感器晶圆干燥加热器

在干燥MEMS晶圆时保持其洁净无瑕 在干燥MEMS传感器晶圆时，热量只是解决问题的一个方面。真正需要克服的难题是各种颗粒物。如果在100级洁净室中工作，您应该很清楚：哪怕有一小片损坏的纤维或少量气体析出物，整个批次的产品都可能会被毁掉。 因此，我们选择使用高纯度的合成石英红外灯。这种灯效果非常好。...