
Jak udržet věci v bezpečí při výrobě waferů v blízkosti chemikálií
Buďme upřímní: umístění vysoce teplé IR lampy vedle hořlavých čisticích prostředků je recept na katastrofu. Pokud používáte běžnou lampu v prostředí s vysokou mírou volatility, v podstatě zveteřujete požár do své čistící místnosti. Je to obrovské riziko.
Proto stavíme naše reflektory a lampy tak, aby teplo zůstalo tam, kam patří – mimo okolní vzduch.
Zabránění proniknutí párů
Cíl je jednoduchý: nenechat chemické páry dosáhnout na horkou křemennou trubici. To dosahujeme tím, že lampu obalíme do hermeticky uzavřeného obalu vyrobeného z temperovaného skla nebo křemene. Konce obalu potom uzamykáme pomocí zesílených spojek a těsnění, která dokážou odolat vysokým teplotám. Tím vznikne pevná bariéra. Pokud do čistící komory dojde k úniku, páry prostě nemohou proniknout dovnitř. Můžete tedy spát klidněji, protože lampa nefunguje jako zdroj zapálení.
Řízení tepla
Používáme reflexory z vysoce čistého hliníku nebo pokovené zlatem, aby infračervená energie byla směrována přímo na wafer. Žádné plýtvání energií. Žádné rozptylování energie do všech stran. Díky tak efektivnímu odrazu zůstává vnější povrch obalu chladný. Ale pozor: stále je potřeba sledovat proudění vzduchu. Pokud váš systém odvodu tepla neodvádí okolní teplo, obal se může stejně přehřát a postupem času opotřebovat těsnění. Je to něco, co je potřeba ještě zkontrolovat.
Kabeláž odolná vůči jiskrom
S elektřinou nechceme riskovat. Používáme protipožární kabely a konektory navržené speciálně k zabránění výbuchům. Žádné jiskry na místech spojení.
Kromě toho umisťujeme zdroj napájení daleko od oblasti ohřevu. Tím eliminujeme možné zdroje zapálení z nebezpečné oblasti.
Rychlá rada ohledně montáže
Tyto jednotky jsou navrženy tak, aby nahradily vaše současné jednotky pro výrobu waferů – což usnadňuje jejich výměnu. Ale protože jsme přidali veškeré tyto ochranné prvky, jednotka je o něco větší než běžná lampa.
Před objednávkou si prostě vezměte metr a zkontrolujte prostor v vašem zařízení. Ujistěte se, že máte dostatek prostoru na to, abyste je tam bez problémů umístili.