Jak udržet věci v bezpečí při výrobě waferů v blízkosti chemikálií Buďme upřímní: umístění vysoce teplé IR lampy vedle hořlavých čisticích prostředků...

Zastavení kontaminace polovodičových destiček: Proč jsme vytvořili lampy s dvojitými trubicemi potaženými zlatem V továrnách na výrobu polovodičů s...

Přestaňte plýtvat teplem: Proč jsou kryty z křemene opravdu důležité pro vaše výrobní lampy Když provozujete továrnu na polovodiče, poslední věc,...

Přestaňte plýtvat energií: Pravda o zlatě potažených IR lampách Pokud zpracováváte polovodičové destičky, víte, že každý watt má svůj význam. Není...

Proč jsou zlatě pokryté reflektory opravdu důležité pro vaše IR zařízení V továrnách na výrobu polovodičů znamená plýtvání energií v podstatě...

Zastavte kontaminaci destiček ještě předtím, než začne: lepší způsob manipulace s infračervenými lampami V provozech s vysokou kapacitou představuje...

Správné zvlhčování v moderní továrně Pokud plánujete výstavbu továrny nové generace, pravděpodobně jste si uvědomili, že starý způsob zvlhčování už...

Přestaňte zahřívat stěny vašeho zařízení – místo toho zahřívejte samotné destičky. Většina běžných topných prvků je docela nepřehledná – vyzařují...

Ohřev pomocí infračervených lamp bez nebezpečí výbuchů Pokud umisťujete infračervené lampy nad nádrže na chemické čištění, pravděpodobně už jste...

V provozu výroby slouží lampa pouze k osvětlení – ve skutečnosti je to nástroj na regulaci teplotního profilu během procesu zpracování fotorezistů. I...

V praxi není termální drift žádnou teorií – jedná se o problém, který je potřeba řešit. Sušení waferů, zpracování fotorezistů, zatvrzování obalových...

V řadě 300 mm je zadržená vlhkost po čištění skrytým problémem, který se projeví až v tu chvíli, kdy už je pozdě. Vlhkost pronikne do vrstev...

Na ploše s wafery víte, že i změna soft bake o 0,2 °C posune kritické rozměry a hard bake, který je na okraji přehřátý, může zanechat usazeniny a...

Na lithografické podlaze není odchylka 0,2 °C v teplotě pečení rezistu „malá odchylka“. Znamená to ztrátu výtěžnosti. Soft bake nastavuje profil...