V řadě 300 mm je zadržená vlhkost po čištění skrytým problémem, který se projeví až v tu chvíli, kdy už je pozdě. Vlhkost pronikne do vrstev fotorезистu, naruší tak teplotní rovnováhu a po exponování se projeví ve formě nerovností na povrchu polovodičové desky. Lampy na odstraňování vlhkosti byly navrženy právě proto, aby tento problém odstranily hned od začátku.
Co je důležité uvnitř zařízení
Používáme halogenové kvartové lampy s rychle reagujícími vlákny, takže teplo působí přesně tam, kde je potřeba – rychle a lokálně. Specifikace vyžadují rovnoměrnost teploty na úrovni polovodičové desky v rozmezí ±0,1 °C po celé oblasti zpracování. Právě proto se v recepturách na zpracování používají profily měkkého a tvrdého zpracování.
Zařízení je vhodné pro čisticí místnosti třídy 1–100. Je vyrobeno z materiálů s nízkou emisí plynů a jeho konstrukce zabraňuje vzniku částic. Výstupní teplota zůstává stabilní v rozmezí 200 °C až 450 °C s vysokou opakovatelností, takže dehydratace a stabilizace probíhají bez nadměrného zahřátí.
Proč to funguje v praxi
Potřebujeme, aby proces zpracování probíhal stejně v 02:00 jako v 14:00. Tato lampa zajistí právě toto – odstraní povrchovou vlhkost, stabilizuje fotorезист před exponováním a poté zajistí stabilitu obrázku po vyvolání. Výsledkem je méně oprav, méně odpadu a spolehlivá kontrola kvality.
Spotřeba energie klesá, protože lampa rychle dosáhne požadované teploty a bez problémů přechází z režimu odpočinku do režimu práce. Funguje 24/7 bez neplánovaných přestávek. Jako přímý ekvivalent OEM lampám se hodí do stávajících zařízení na nanášení a zpracování – není potřeba přeprogramovávat celý modul.
Na co si dát pozor
Instalace je jednoduchá na standardních zařízeních, ale je důležité správné zarovnání. Udržujte lampu v určeném rozsahu ohniskové vzdálenosti – jinak budete mít problémy s nerovnoměrnostmi teploty. S kvartem zacházejte opatrně – žádné otisky prstů, žádné rozpouštědla na povrchu lampy. Při prvním použití zkontrolujte emisivitu komory a stav reflektoru.
Během stabilizace výstupu existuje krátké období „zahřívání“. Poté stačí nastavit požadovanou teplotu a nechat proces probíhat.