Hören Sie auf, die Wände der Maschine zu erhitzen – heizen Sie stattdessen die Wafer direkt.
Die meisten herkömmlichen Heizelemente sind ziemlich unpraktisch: Sie strahlen Wärme in alle Richtungen ab. Wenn man mit engen Halterungen für Halbleiterbauelemente arbeitet, führt das zu Problemen. Die Wände der Maschine werden dabei so heiß, dass sie den Bediener verbrennen oder die empfindlichen Elektronikkomponenten beschädigen können.
Das ist eine Energieverschwendung – und außerdem ein Sicherheitsrisiko.
Die Lösung ist überraschend einfach: Wir verwenden Richtungsheizlampen aus Kohlenstofffaser.
Wie es funktioniert
Stellen Sie sich einen herkömmlichen Quarzheizer wie eine Glühbirne vor, die in einem 360-Grad-Bereich leuchtet. Ihre Strahlung ist breit gefächert und ungenau gerichtet. Kohlenstofffaserlampen hingegen sind anders: Wir können sie so konstruieren, dass die Strahlung gezielt in eine bestimmte Richtung gelenkt wird.
Anstatt dass die Energie in der Maschine herumwandert, gelangt sie direkt auf die Wafer oder das Substrat.
Wichtige Details
Es gibt ein paar Dinge, die Sie wissen sollten: Kohlenstofffaserfilamente werden zwar nicht so heiß wie Wolfram, doch sie sind viel besser darin, mittelwelliges Infrarotlicht abzugeben. Dadurch entsteht eine schnellere Erwärmung der Wafer.
Aber Achtung: Kohlenstofffaserfilamente mögen Vibrationen nicht. Wenn die Umgebung unruhig ist, müssen die Halterungen besonders stabil sein – sonst könnten die Filamente brechen.
Wir bauen diese Lampen in der Regel maßgeschneidert für Ihre Anforderungen. Wir können die Leistungsstärke erhöhen, damit die Abmessungen der Lampen klein bleiben. Doch Ihr Steuerkreis muss präzise funktionieren – schließlich soll die Temperatur nicht versehentlich überschritten werden.
Was das für Ihren Betrieb bedeutet
Wenn Sie keine Energie mehr für die Erwärmung der Luft und des Maschinengehäuses verschwenden, wird alles einfacher. Sie müssen sich keine Sorgen mehr um überdimensionierte Kühlfans oder teure Schutzmaßnahmen machen.
Man muss die Lampe nur anschließen, den Strahl auf die Wafer richten – und schon ist alles erledigt. Das Beste daran: Das Gehäuse bleibt angenehm kühl. Ihre Mitarbeiter sind sicherer, Ihre Energiekosten sinken – und das gesamte System funktioniert effizienter.