Sicherstellung der Sicherheit bei der Behandlung von Wafern in der Nähe von Chemikalien
Seien wir ehrlich: Eine Hochtemperaturlampe in der Nähe brennbarer Reinigungsmittel zu platzieren, ist ein Weg in die Katastrophe. Wenn man eine Standardlampe in einer explosiven Umgebung verwendet, lädt man im Grunde genommen ein Feuer in den Reinraum ein – das ist ein enormes Risiko.
Deshalb konstruieren wir unsere Reflektoren und Lampen so, dass die Wärme dort bleibt, wo sie hingehört – also fernab von der umgebenden Luft.
Verhinderung des Eindringens von Dämpfen
Das Ziel ist einfach: Die chemischen Dämpfe dürfen nicht mit der heißen Quarzröhre in Berührung kommen. Wir erreichen dies, indem wir die Lampe in einen versiegelten Schutzmantel aus gehärtetem Glas oder Quarz einhüllen. Anschließend werden die Enden mit verstärkten Flanschen und Dichtungen verschlossen, die der Hitze standhalten können. Dadurch entsteht eine feste Barriere. Falls es in der Reinigungszone zu einem Leck kommt, können die Dämpfe nicht in das Gehäuse eindringen. So können Sie beruhigt sein – die Lampe fungiert nicht als Zündquelle.
Kontrolle der Hitze
Wir verwenden hochreines Aluminium oder goldbeschichtete Reflektoren, damit die Infrarotenergie direkt auf die Wafer gerichtet wird. Es entsteht keine nutzlose Wärme – die Energie wird nicht überall verteilt. Da die Reflexion sehr effizient ist, bleibt die Außenseite des Gehäuses kühl. Doch man muss trotzdem darauf achten, dass die Luftzufuhr ordnungsgemäß funktioniert. Falls das Belüftungssystem die Umgebungshitze nicht abtransportieren kann, kann das Gehäuse trotzdem so heiß werden, dass die Dichtungen mit der Zeit beschädigt werden. Das sollte man unbedingt überprüfen.
Spannungsstromunempfindliche Verkabelung
Wir gehen beim Umgang mit Elektrizität kein Risiko ein. Wir verwenden brandschützende Kabel und Stecker, die speziell dazu entwickelt wurden, Explosionen zu verhindern. An den Anschlussstellen entstehen keine Funken. Zudem platzieren wir die Stromversorgung weit entfernt von der Heizzone. Dadurch wird die potenzielle Zündquelle vollständig aus der Gefahrenzone entfernt.
Hinweise zur Montage
Diese Geräte sind als Ersatz für Ihre aktuellen Behandlungssysteme konzipiert – dadurch ist der Austausch einfach. Doch da wir alle diese Schutzmaßnahmen eingebaut haben, ist das Gerät etwas größer als eine herkömmliche Lampe. Bevor Sie bestellen, messen Sie bitte die Abstände im Chassis. Stellen Sie sicher, dass genug Platz vorhanden ist, um das Gerät problemlos einzubauen.