Hören Sie auf, Wärme zu verschwenden: Warum Quarzschutzschirme für Ihre Fertigungsanlagen wirklich wichtig sind
Wenn man eine Halbleiterfertigungsanlage betreibt, möchte man auf keinen Fall, dass die Heizlampen die Wafer verschmutzen. Das wäre ein Albtraum. Deshalb verwenden wir Schutzschirme aus hochreinem Quarzglas.
Man kann sie sich wie Leibwächter für die Lampen vorstellen – sie befinden sich direkt zwischen dem Heizelement und der Fertigungsumgebung und sorgen dafür, dass alles sauber bleibt und voneinander getrennt ist.
Warum Quarz? Warum nicht einfach normales Glas?
Normales Glas fungiert wie ein Schwamm für Wärme. Wenn man es hier verwenden würde, würde der Schutzschirm all diese Energie aufnehmen, dadurch belastet werden und vermutlich zerbrechen.
Quarz hingegen lässt kurzwelliges Infrarotlicht ungehindert durch. Die Energie gelangt genau dorthin, wohin sie soll – zum Zielobjekt – anstatt im Schutzschirm festzusitzen. Zudem verwenden wir hochreines geschmolzenes Silizium. Dadurch wird das „Austreten von Stoffen“ verhindert – mit anderen Worten: Es entstehen keine Verunreinigungen in dem Reinraum.
Kosten und CO2-Fußabdruck reduzieren
Wir sprechen oft über „grüne Fabriken“, aber wie macht man das eigentlich? Für uns geht es darum, die Wärme gezielt zu lenken. Ohne einen guten Schutzschirm entweicht die Wärme in alle Richtungen – das ist eine Verschwendung. Durch die gezielte Fokussierung der Wärme wird verhindert, dass der Rest des Gehäuses erhitzt wird.
Das bedeutet, dass der Stromverbrauch pro Wafer sinkt. Und das Beste daran: Die Lüftungs- und Kühlsysteme müssen nicht mehr so hart arbeiten, um den Raum gekühlt zu halten. Weniger Kühlung bedeutet weniger Stromverbrauch – das ist also ein Gewinn für alle Beteiligten.
Installation
Die Installation dieser Schutzschirme ist kein Problem. Sie sind als Ersatzteile konzipiert. Man muss nur das System anschließen, die Schutzschirme an ihren Platz schieben – und schon ist alles fertig.
Aber Achtung: Quarz ist zwar hitzebeständig, doch er ist auch brüchig. Ein einziger Stoß während der Installation kann dazu führen, dass der ganze Schutzschirm zerbricht. Tragen Sie bitte Handschuhe. Auch ein paar Fingerabdrücke können zum Problem werden. Hautöle erzeugen „heiße Stellen“ auf dem Glas – wenn die Leistung erhöht wird, können diese Stellen dazu führen, dass der Schutzschirm früher versagt. Halten Sie die Schutzschirme sauber und behandeln Sie sie vorsichtig – dann werden sie ihre Funktion erfüllen.