وقتی که یک اتاق تمیز در درجه ۱۰۰ را اداره میکنید، حتی یک ذره گرد و غبار نیز مشکلات زیادی ایجاد میکند؛ چرا که میتواند فاجعهبار باشد. اگر عناصر گرمایشی شروع به ترشح ذرات کنند، کل محصولات تولید شده از بین خواهند رفت.
به همین دلیل، ما از شیشههای معمولی یا کوارتز ارزانقیمت استفاده نمیکنیم. این مواد در دماهای بالا تمایل به ترک خوردن یا ترشح یون دارند. در عوض، از کوارتز با خلوص بالا برای گرم کردن ویفرها استفاده میکنیم؛ این ماده پایدار است، گازی از خود ترشح نمیکند، و میتواند تغییرات دمایی سریع را بدون ایجاد مشکلاتی در سطح خود تحمل کند.
حفظ تمیزی محیط
ما توجه زیادی به خود کوارتز میکنیم؛ با استفاده از سیلیکا مصنوعی، از ناخالصیهایی که معمولاً باعث ایجاد ابرهای گرد و غباری در سطح ویفر میشوند، جلوگیری میکنیم.
همچنین، از آنجایی که این روش گرمایش بدون تماس است، تشعشعات مادون قرمز وظیفه گرم کردن ویفر را بر عهده دارند. این تشعشعات مستقیماً به سطح ویفر برخورد میکنند؛ بنابراین هیچ تماسی وجود ندارد و خطر ایجاد نقصهای مکانیکی نیز وجود ندارد.
تنظیم دقیق دما
این کار نیاز به تعادل دارد؛ ما لامپهایی را انتخاب میکنیم که دارای چگالی گرمایی بالایی باشند، اما در عین حال در مورد توان و ولتاژ نیز مراقب هستیم. چرا؟ چون اگر توان زیادی به یک لوله کوتاه وارد شود، نقطه داغی در مرکز ویفر ایجاد خواهد شد.
ما هندسه فیلامنتها را تنظیم کردهایم تا از ایجاد چنین مشکلاتی جلوگیری شود؛ در نتیجه، دما به طور یکنواخت افزایش مییابد. اگر از روش CVD یا آنیلینگ برای تولید محصولات استفاده میکنید، میدانید که یکنواختی بسیار مهم است.
جزئیات نصب
ما این لامپها را با کانکتورهای دقیق ارسال میکنیم؛ شما به یک اتصال الکتریکی محکم نیاز دارید. اتصال ضعیف در یک اتاق تمیز میتواند مشکلات زیادی ایجاد کند؛ این مشکلات منجر به ایجاد اختلالات الکتریکی و در نهایت گرد و غبار فلزی میشود.
البته، کوارتز با خلوص بالا کمی شکنندهتر از شیشههای صنعتی است؛ این ماده دوست دارد گرم باشد، اما از افتادن روی سطوح سخت متنفر است. لطفاً با آن مراقب باشید؛ از دستکشهای بدون الیاف استفاده کنید و از شوکهای ناگهانی در هنگام نصب جلوگیری کنید؛ در غیر این صورت، ممکن است در سطح کوارتز ترک ایجاد شود.