چرا از روش درمان با امواج مادون قرمز برای ویفرهای نیمههادی استفاده میکنیم؟
در زمینه خشک کردن و درمان ویفرهای نیمههادی، استفاده از امواج مادون قرمز بهترین راه است. این روش به ما امکان میدهد تا از استفاده از مواد شیمیایی پرخطر و همچنین فرهای بزرگ و پرمصرف خلاص شویم؛ فرهایی که برای گرم شدن زمان زیادی نیاز دارند.
نکته مهم این است که امواج مادون قرمز، لرزشهای مولکولی موجود در مواد چسبنده یا فوتورزیست را هدف قرار میدهند؛ در نتیجه، فرآیند درمان دقیقاً در جایی که لازم است انجام میشود، بدون اینکه کل دستگاه به یک منبع گرمایی بزرگ تبدیل شود.
کاهش مصرف انرژی
گرم کردن هوا، کاری بیهوده است؛ این همان روشی است که فرهای قدیمی از آن استفاده میکردند، و این روش باعث هدررفت انرژی زیادی میشود.
اما با استفاده از لامپهای مادون قرمز، ما با تشعشعات الکترومغناطیسی سروکار داریم؛ این تشعشعات مستقیماً از میان هوا عبور کرده و به سطح ویفر برخورد میکنند. این روش بسیار سریع است.
از آنجایی که گرما مستقیماً به ماده وارد میشود، دستگاه نیازی به گرمایش بیش از حد ندارد؛ شما فقط باید انرژی را در جای درست آن قرار دهید.
روشی سبز بدون مشکلات
تلاش برای استفاده از مواد بدون سرب و روشهای سازگار با محیط زیست، ما را در موقعیت دشواری قرار داده است؛ دیگر نمیتوانیم از کاتالیستهای فلزی سنگین یا مواد شیمیایی سمی برای تسریع فرآیند استفاده کنیم.
اما ما میتوانیم طول موج نور را تنظیم کنیم؛ چه از موجهای کوتاه و چه موجهای متوسط، میتوانیم نور را متناسب با موادی که جذب میکنند، تنظیم کنیم. به این ترتیب، میتوانیم فرآیند درمان را فقط با استفاده از نور و گرما انجام دهیم؛ بدون استفاده از مواد خطرناک یا روشهای سمی. فقط فیزیک ساده!
مشکلات موجود (تضادها)
البته، این روش کاملاً بینقص نیست؛ شما میتوانید از سرعت و کیفیت بالای این روش بهره ببرید، اما باید مراقب جریان گرما باشید.
اگر لامپهای مادون قرمز بیش از حد کار کنند و دما به طور یکنواخت نباشد، ویفرها دچار تغییر شکل خواهند شد؛ این وضعیت واقعاً وحشتناک است. برای جلوگیری از این اتفاق، نیاز به سنسورهایی داریم که سطح ویفر را به صورت لحظهای نظارت کنند.
همچنین باید مراقب سیستم خنککننده نیز باشید؛ اگر سیستم شما قادر به مدیریت گرمای تولید شده توسط لامپهای مادون قرمز نباشد، سایر اجزای دستگاه نیز دچار مشکل خواهند شد. معمولاً از سیستمهای بازخورد بسته برای جلوگیری از سوختن ویفرها استفاده میکنیم؛ این روش ایمنترین روش برای جلوگیری از آسیب به ویفرها است.