सूखाने की प्रक्रिया के दौरान MEMS वेफरों को स्वच्छ रखना
जब MEMS सेंसर वेफरों को सूखाया जाता है, तो गर्मी केवल आधा ही उपाय है। वास्तविक चुनौती तो कणों से निपटना है। यदि आप क्लास 100 स्वच्छ कमरे में काम कर रहे हैं, तो आपको पता ही होगा कि एक छोटा सा कण भी आपके सभी वेफरों को बर्बाद कर सकता है।
इसीलिए हम उच्च-शुद्धता वाले सिंथेटिक क्वार्ट्ज इन्फ्रारेड लैंपों का ही उपयोग करते हैं। ऐसे लैंप ही प्रभावी हैं।
क्वार्ट्ज का महत्व
अधिकांश सामान्य क्वार्ट्ज में अशुद्धियाँ होती हैं। जब तापमान बढ़ता है, तो ये अशुद्धियाँ टूटकर सूक्ष्म कणों के रूप में वायुप्रवाह में चली जाती हैं… यह अच्छी बात नहीं है।
हम उच्च-शुद्धता वाले फ्यूज्ड सिलिका का ही उपयोग करते हैं। ऐसा पदार्थ तापमान में भी क्रिस्टलीकृत नहीं होता, इसलिए यह अपनी जगह पर ही रहता है।
इन्फ्रारेड विकिरण, वेफर पर मौजूद तरल पदार्थ को तुरंत ही वाष्पित कर देता है। चूँकि हम छोटी तरंगदैर्घ्य वाले इन्फ्रारेड विकिरण का ही उपयोग करते हैं, इसलिए ऊर्जा सीधे ही पानी तक पहुँच जाती है… इसलिए वेफर को सूखाने हेतु पूरे चैंबर को गर्म करने की आवश्यकता ही नहीं है।
अशुद्धियों से बचना
हमने लैंप की संरचना का बारीकी से विश्लेषण किया, एवं उसमें उपयोग होने वाले सामान्य चिपकने वाले पदार्थों/सस्ते रेजिनों को हटा दिया। ऐसे पदार्थ उच्च तापमान में वाष्पित हो जाते हैं, एवं सेंसरों पर रासायनिक पदार्थ छोड़ देते हैं… ऐसा करने से वेफरों को नुकसान पहुँचता है।
इसके बजाय, हमने ऐसे यांत्रिक सील एवं मिश्रधातुओं का ही उपयोग किया, जो उच्च तापमान में भी टूटते नहीं।
लैंप की सतह चमकदार होती है… ऐसा इसलिए है ताकि कणों को वहाँ चिपकने का कोई मौका ही न मिले। यदि आप इन लैंपों को उच्च-घनत्व वाले ढाँचों में उपयोग में ला रहे हैं, तो अपने पावर सप्लाई को स्थिर रखें… यदि वोल्टेज में उतार-चढ़ाव होता है, तो फिलामेंट कंपन करने लगता है… ऐसा बार-बार होने से लैंप जल्दी ही खराब हो जाता है।
वास्तविकता
उच्च-शुद्धता वाला क्वार्ट्ज थोड़ा कमजोर होता है… यह तापीय झटकों को तो सह सकता है, लेकिन भौतिक झटकों को नहीं। यदि आपके सिस्टम में अधिक यांत्रिक कंपन है, तो चीजों को सुरक्षित रखने हेतु डैम्प्ड माउंट्स की आवश्यकता है।
साथ ही, अपने एक्जॉस्ट सिस्टम पर भी ध्यान दें… क्योंकि उच्च तापमान के कारण नमी जल्दी ही वेफरों की सतह पर जम सकती है।