फैब फ्लोर पर, स्टेपर लैंप का उपयोग केवल प्रकाश प्रदान करने हेतु ही नहीं किया जाता; बल्कि यह हर फोटोरेजिस्ट बेकिंग प्रक्रिया में तापमान नियंत्रण हेतु भी आवश्यक है। यदि तापमान में 1°C का भी बदलाव हो जाए, तो उत्पादन प्रक्रिया प्रभावित हो जाती है। हमने ऐसा निकॉन स्टेपर लैंप विकसित किया है, जिससे तापमान स्थिर रहे, चाहे प्रक्रिया कितनी भी बार दोहराई जाए।
इस लैंप में उच्च शुद्धता वाले क्वार्ट्ज में शॉर्ट-वेव हैलोजन तत्वों का उपयोग किया गया है; ऐसा इसलिए किया गया है ताकि तापमान जल्दी ही स्थिर हो जाए एवं स्पेक्ट्रल आउटपुट भी स्थिर रहे। यह लैंप निकॉन स्टेपर लैंपों के साथ बिल्कुल फिट बैठता है; इसलिए इसका उपयोग आसानी से किया जा सकता है। बेकिंग प्लेट पर वेफरों पर तापमान स्थिर रहता है – ±0.1°C, एवं 5,000+ घंटों तक आउटपुट स्थिर रहता है। हमने फिलामेंट एवं रिफ्लेक्टरों की संरचना को ऐसे डिज़ाइन किया है कि रेजिस्ट सतह पर तापमान स्थिर रहे – कोई हॉट स्पॉट न हो, कोई विचलन न हो।
लिथोग्राफी प्रक्रिया में यह बहुत ही महत्वपूर्ण है। नियमित बेकिंग से विलायकों का जमाव कम हो जाता है; इससे कम अशुद्धियाँ उत्पन्न होती हैं। नियमित हार्ड बेकिंग से चिपों पर चिपकने की क्षमता बढ़ जाती है, जिससे पुनर्कार्य की आवश्यकता कम हो जाती है। क्लास 1–100 के क्लीनरूमों में, इस लैंप का उपयोग ऐसे ही किया जाता है कि ऑप्टिक्स एवं वेफरों पर कोई दूषण न हो। इस लैंप में कम ऊर्जा की आवश्यकता होती है; इसलिए इसकी लंबी आयु के कारण कम रखरखाव की आवश्यकता होती है, एवं कम बार ही उपकरणों की मरम्मत करनी पड़ती है।
कुछ व्यावहारिक सुझाव: लैंप को स्टेपर मॉडल एवं पावर सप्लाई के अनुरूप ही चुनें। गलत वोल्टेज या कनेक्टर पोलरिटी से तापमान में विचलन हो जाता है, जिससे आउटपुट में विचलन हो जाता है। इंस्टॉलेशन के बाद, तापमान स्थिर होने दें – पहले 10 बेकिंगों के आउटपुट को दर्ज करें, ताकि स्थिरता की पुष्टि हो सके।
विकल्पों की योजना विफलता के आधार पर नहीं, बल्कि समय के आधार पर ही बनाएं। जब लैंप की आयु समाप्त हो जाती है, तो आउटपुट में विचलन हो जाता है, जिससे फोटोरेजिस्ट में दोष उत्पन्न हो जाते हैं।