Mempertahankan Kebersihan Wafer MEMS Selama Proses Pengeringan
Saat mengeringkan wafer sensor MEMS, panas hanyalah salah satu faktor penting. Yang lebih penting lagi adalah cara menghindari adanya partikel-partikel kecil yang dapat merusak wafer tersebut. Jika Anda bekerja di ruang bersih kelas 100, Anda pasti tahu betapa berbahayanya hal ini: sekumpulan partikel kecil saja sudah cukup untuk merusak seluruh batch wafer tersebut.
Itulah sebabnya kami menggunakan lampu inframerah berbahan kuarsa sintetis berkualitas tinggi. Bahan ini memang efektif dalam proses pengeringan.
Mengapa Kuarsa Sangat Penting?
Kebanyakan kuarsa biasa mengandung kotoran. Saat suhu naik, kotoran-kotoran tersebut akan terurai dan menghasilkan partikel-partikel kecil yang masuk ke dalam aliran udara. Hal ini tentu tidak baik.
Kami menggunakan silika fusi berkualitas tinggi sebagai penggantinya. Bahan ini tidak akan membentuk kristal atau melepaskan partikel saat suhu berubah-ubah secara cepat. Dengan demikian, permukaan wafer tetap bersih.
Cara kerjanya cukup menarik: radiasi inframerah mempengaruhi lapisan cairan pada permukaan wafer, sehingga cairan tersebut langsung menguap. Karena kita menggunakan spektrum gelombang pendek, energi tersebut langsung menuju ke air yang ada di permukaan wafer. Dengan demikian, tidak perlu memanaskan seluruh ruangan hanya untuk mengeringkan wafer.
Menghilangkan Partikel-Kotoran
Kami memeriksa komponen lampu tersebut dengan seksama, lalu menghilangkan bahan perekat dan resin murahan yang digunakan. Bahan-bahan tersebut justru berbahaya, karena akan mengeluarkan gas beracun pada suhu tinggi dan meninggalkan lapisan kimia pada sensor.
Sebagai gantinya, kami menggunakan segel mekanis dan paduan logam yang mampu bertahan terhadap panas tanpa rusak. Permukaan lampu pun dibuat sangat halus, sehingga tidak ada tempat bagi partikel-partikel kecil untuk menempel. Tips penting: pastikan pasokan listriknya stabil. Jika terjadi fluktuasi tegangan, filamen lampu akan bergetar. Jika hal ini terjadi berulang kali, lampu akan cepat rusak.
Realitasnya
Kuarsa berkualitas tinggi memang agak rapuh. Meskipun ia mampu bertahan terhadap perubahan suhu yang drastis, ia tidak tahan terhadap benturan fisik. Jika sistem Anda memiliki getaran mekanis yang tinggi, Anda perlu menggunakan penyangga yang dapat meredam getaran tersebut.
Selain itu, perhatikan juga saluran pembuangan udara. Karena densitas panasnya sangat tinggi, Anda perlu membuang kelembapan tersebut secepat mungkin. Jika tidak, kelembapan akan menumpuk di tepi-tepi wafer.