화학물질을 사용하여 웨이퍼를 처리할 때 안전을 유지하는 방법
솔직히 말해서, 고온의 적외선 램프를 가연성 세정제 근처에 두는 것은 재앙을 부르는 행위입니다. 만약 변동성이 큰 환경에서 일반적인 램프를 사용한다면, 그건 마치 청정실에 화재를 초대하는 것과 같습니다. 이는 엄청난 위험입니다.
그래서 우리는 반사기와 램프를 설계할 때, 열이 주변 공기와 접촉하지 않도록 합니다.
증기 차단
목표는 간단합니다. 화학물질의 증기가 뜨거운 석영관에 닿지 않도록 하는 것입니다. 이를 위해 램프를 강화된 유리나 석영으로 만든 밀폐된 커버로 감싸줍니다. 그런 다음 열에 견딜 수 있는 특수한 패스너와 가스켓을 사용하여 램프의 양쪽 끝을 단단히 고정시킵니다. 이렇게 하면 증기가 램프 내부로 들어오지 못합니다. 램프가 점화원이 되지 않으므로 조금 더 안심할 수 있습니다.
열 관리
우리는 고순도 알루미늄이나 금으로 코팅된 반사기를 사용하여 적외선 에너지를 웨이퍼에 직접 전달합니다. 낭비되는 열이 없으며, 에너지가 여기저기 퍼지지도 않습니다. 반사 효율이 높기 때문에 램프 외부는 시원하게 유지됩니다. 하지만 여전히 공기의 흐름을 주의 깊게 확인해야 합니다. 만약 배기 시스템이 주변의 열을 제대로 제거하지 못한다면, 램프의 외부가 너무 뜨거워져서 시일이 지나면서 밀봉 부분이 손상될 수 있습니다. 반드시 확인해야 합니다.
스파크 방지 회로
우리는 전기와 관련해서는 절대로 위험을 감수하지 않습니다. 폭발을 방지하기 위해 방염 처리된 케이블과 커넥터를 사용합니다. 연결 부분에서 스파크가 발생하지 않습니다. 또한, 전력 공급 장치를 가열 구역에서 멀리 떨어뜨려 놓습니다. 이렇게 함으로써 잠재적인 점화원을 위험한 지역에서 완전히 제거할 수 있습니다.
설치에 대한 팁
이 제품들은 기존의 치료용 램프를 대체할 수 있도록 설계되었으므로 교체가 용이합니다. 하지만 보호 장치가 추가되어 있기 때문에, 일반 램프보다는 크기가 조금 더 큽니다. 주문하기 전에 반드시 치수를 확인해 보세요. 충분한 공간이 있어야 램프를 쉽게 설치할 수 있습니다.