Ketika anda mengendalikan bilik bersih kelas 100, setiap zarah debu bukan sekadar masalah kecil – ia merupakan bencana sebenar. Jika unsur pemanasan dalam sistem tersebut mula melepaskan zarah-zarah tertentu, maka keseluruhan proses pengeluaran akan terjejas.
Itulah sebabnya kami tidak menggunakan kaca biasa atau kuarsa murah. Bahan-bahan ini cenderung untuk retak atau melepaskan ion apabila suhu meningkat. Sebaliknya, kami menggunakan kuarsa yang sangat murni untuk alat pemanas wafer. Bahan ini kekal stabil, tidak melepaskan gas, dan mampu menangani perubahan suhu yang mendadak tanpa menyebabkan kerosakan pada permukaannya.
Mempastikan kebersihan yang sempurna
Kami memberi perhatian yang besar terhadap struktur kuarsa itu sendiri. Dengan menggunakan silika sintetik, kami dapat menghilangkan kekotoran yang selalu menyebabkan masalah seperti “keruhnya permukaan” atau pelepasan zarah-zarah kecil ketika suhu dinaikkan.
Oleh kerana ini merupakan kaedah pemanasan tanpa sentuhan, radiasi inframerahlah yang melakukan tugas pemanasan. Radiasi ini akan menembusi permukaan wafer secara langsung. Tiada risiko kerosakan akibat sentuhan atau geseran, dan tiada peluang untuk timbulnya kecacatan mekanikal.
Mencapai suhu yang tepat
Ia memerlukan keseimbangan yang tepat. Kami menetapkan spesifikasi lampu agar mempunyai kepadatan haba yang tinggi, tetapi kami juga berhati-hati dengan jumlah watt dan voltan yang digunakan. Mengapa? Kerana jika terlalu banyak watt digunakan, akan timbul titik panas di bahagian tengah wafer.
Kami telah mengubah reka bentuk filamen agar hal ini tidak berlaku. Dengan cara ini, suhu akan naik secara seragam. Jika anda menggunakan kaedah CVD atau annealing, konsistensi suhu sangat penting.
Butiran penting mengenai pemasangan
Lampu-lampu ini dihantar bersama-sama dengan connector yang sesuai. Anda memerlukan sambungan elektrik yang kukuh. Sambungan yang longgar di bilik bersih merupakan bencana – ia boleh menyebabkan percikan api, dan akhirnya, debu logam akan terbentuk.
Namun, perlu diingat bahawa kuarsa yang sangat murni ini agak rapuh berbanding kaca industri yang biasa digunakan. Ia menyukai suhu yang tinggi, tetapi tidak tahan jika jatuh.
Berhati-hatilah semasa memasangnya. Gunakan sarung tangan yang bebas debu, dan elakkan sebarang kejutan tiba-tiba semasa pemasangan, supaya permukaan kuarsa tidak retak.