Di dalam bilik penghasilan cip, lampu stepper bukan sekadar alat untuk menerangi kawasan tersebut – ia juga berfungsi sebagai alat kawalan suhu yang digunakan semasa proses pembakaran bahan fotoresist. Perubahan suhu sebanyak 1°C sahaja sudah cukup untuk mengganggu kawalan dimensi penting dalam proses pembuatan cip. Ini akan menyebabkan proses pengeluaran terhenti. Kami mencipta lampu ganti untuk Nikon agar profil suhu dapat kekal stabil, dari satu sesi pengeluaran ke sesi yang lain.
Apa yang penting ialah komponen dalaman lampu tersebut. Lampu ini menggunakan unsur halogen berfrekuensi tinggi yang diletakkan dalam kuarsa berkualiti tinggi. Ini membolehkan lampu memberikan respons termal yang cepat serta output spektrum yang stabil. Reka bentuk lampu ini disesuaikan dengan tepat dengan peralatan Nikon, agar proses pertukaran lampu dapat dilakukan dengan cepat. Kestabilan suhu pada permukaan wafer adalah sekitar ±0.1°C, manakala ketepatan output pula tetap berada dalam lingkungan 2% selama lebih dari 5,000 jam operasi. Kami juga merancang geometri filamen dan laluan cahaya supaya permukaan fotoresist mendapat suhu yang seragam – tiada kawasan panas atau perubahan suhu yang tidak diinginkan.
Ini sangat penting dalam proses litografi. Proses pembakaran yang konsisten dapat mengurangkan penyerapan pelarut, sekali gus mengurangkan kekotoran pada wafer. Proses pembakaran yang efektif juga dapat meningkatkan daya lekat bahan dan meningkatkan ketepatan proses pengikisan – kurangnya keperluan untuk melakukan ulangan proses. Dalam bilik bersih kelas 1–100, komponen-komponen ini direka agar dapat beroperasi dengan bersih, dengan batasan penggunaan bahan dan gas yang tidak akan mencemarkan optik atau wafer. Reka bentuk lampu ini juga memerlukan tenaga yang sedikit, dan jangka hayatnya yang panjang bermakna kurangnya keperluan untuk menukar lampu, kurangnya gangguan dalam proses penyesuaian, dan kurangnya alat eksposur yang tidak digunakan.
Beberapa perkara praktikal yang perlu diperhatikan: Pastikan lampu dipadankan dengan model stepper dan sumber kuasa yang betul. Voltan atau polariiti konektor yang salah boleh menyebabkan perubahan suhu dan mengganggu ketepatan proses. Selepas pemasangan, beri masa kepada sistem suhu untuk stabil. Catatkan hasil 10 sesi pembakaran pertama untuk memastikan keseragaman dan ketepatan suhu.
Rancang penggantian lampu mengikut jadual yang ditetapkan, bukan apabila lampu rosak. Menggunakan lampu yang telah melebihi jangka hayatnya akan menyebabkan perubahan suhu dan masalah lain yang boleh merosakkan bahan fotoresist.