Wanneer je een Class 100-schoonruimte beheert, is één enkele stofdeeltje geen klein probleem – het is een ramp. Als de verwarmingselementen deelnemen, kan het gebeuren dat er deeltjes vrijkomen. In dat geval is het hele productverbruik nutteloos.
Daarom gebruiken we geen gewoon glas of goedkope kwarts. Deze materialen kunnen gaan barsten of ionen vrijgeven wanneer het heet wordt. In plaats daarvan gebruiken we hoogzuiver gefuseerd kwarts voor onze verwarmingselementen. Dit materiaal blijft stabiel, geeft geen gassen af en kan grote temperatuurschommelingen weerstaan zonder dat het oppervlak beschadigt raakt.
Het behouden van een schone omgeving We leggen veel nadruk op het kwartspoeder zelf. Door synthetisch gefuseerd silicium te gebruiken, kunnen we de onzuiverheden vermijden die normaal gesproken tot problemen leiden wanneer de vermogenssterkte wordt verhoogd.
Omdat dit een contactloze verwarmingstechniek is, doet de infraroodstraling al het werk. De straling bereikt rechtstreeks het oppervlak van de wafer. Er is geen risico op mechanische schade.
Het juiste niveau van warmte bereiken Het is een kwestie van evenwicht. We kiezen voor lampen met een hoge warmtedichtheid, maar we zijn zorgvuldig met de vermogenssterkte en spanning. Waarom? Omdat als je te veel vermogen in een kleine buis stopt, er een hete plek in het midden van de wafer ontstaat.
We hebben de geometrie van de filaments aangepast om dit te voorkomen. Hierdoor wordt de temperatuur gelijkmatig verhoogd. Als je CVD of annealing gebruikt, weet je dat consistentie belangrijk is.
Details over de installatie We leveren deze lampen samen met precisieverbinders. Je wilt immers een goede elektrische aansluiting. Een slechte aansluiting in een schoonruimte is een nachtmerrie – dit kan leiden tot bliksemflitsen en uiteindelijk tot metalen stofdeeltjes.
Eén ding moet je wel onthouden: hoogzuiver kwarts is wat brozer dan het industriële glas dat je misschien gewend bent. Het houdt van hitte, maar het houdt niet van valpartijen.
Behandel ze voorzichtig. Gebruik vuilvrije handschoenen en vermijd plotselinge schokken tijdens de installatie. Anders kan het oppervlak van het kwartspoeder beschadigen.