Houd je MEMS-chips schoon tijdens het drogen
Tijdens het drogen van MEMS-sensorchips is hitte pas de helft van het probleem. Het echte probleem zijn de deeltjes die zich in de lucht bevinden. Als je in een schone ruimte van klasse 100 werkt, weet je wat er kan gebeuren: één klein stukje afgebroken filament of een beetje uitgestoten materiaal kan al zorgen voor het verlies van je hele batch chips.
Daarom gebruiken we lampen gemaakt van hoogzuiver synthetisch kwarts. Ze werken gewoon goed.
Waarom kwarts belangrijk is
Het meeste standaardkwarts bevat onzuiverheden. Bij hoge temperaturen breken deze onzuiverheden uiteen en komen er microdeeltjes vrij die zich in de lucht bevinden. Dat is natuurlijk niet goed.
We gebruiken in plaats daarvan hoogzuiver gesmolten silica. Dit materiaal kristalliseert niet en lost ook geen deeltjes op bij snelle temperatuurswisselingen. Het blijft dus op zijn plek.
De werking is erg efficiënt: de infraroodstraling bereikt de vloeistoflaag op het chip en doet deze bijna onmiddellijk verdampen. Omdat we een kortegolflengtespectrum gebruiken, gaat de energie rechtstreeks naar het water. Je hoeft de hele kamer niet op te warmen om de chips te drogen.
Het vermijden van problemen
We hebben goed gekeken naar de constructie van de lamp en alle typische lijmstoffen en goedkope harsen verwijderd. Deze materialen kunnen bij hoge temperaturen chemische stoffen vrijgeven, waardoor er een chemische laag op de sensoren ontstaat.
In plaats daarvan gebruiken we mechanische sluitingen en legeringen die de hitte kunnen verdragen zonder te verslijten.
Je zult zien dat het oppervlak van de lamp glad is gepolijst. Dat is niet alleen voor het uiterlijk; het zorgt er ook voor dat er nergens deeltjes kunnen blijven plakken. Een tip als je de lampen in een hoge dichtheid gebruikt: zorg ervoor dat de stroomvoorziening stabiel is. Als er spanningsschokken zijn, zal het filament trillen. Als dit vaak gebeurt, brandt de lamp eerder uit dan nodig is.
De realiteit
Hoogzuiver kwarts is wel wat breekbaar. Het kan thermische schokken goed verdragen, maar het kan geen fysieke schade aan. Als je apparatuur veel mechanische trillingen heeft, moet je er zeker voor zorgen dat alles goed wordt vastgehouden.
Kijk ook goed naar de afvoer van lucht. Omdat de hittedichtheid zo hoog is, moet de vochtigheid snel worden weggehaald. Anders zal er condensatie op de randen van de chips ontstaan.