Как сохранить чистоту пластин MEMS во время сушки
При сушке пластин датчиков MEMS тепло – это лишь половина решения проблемы. Настоящая борьба идет с частицами грязи. Если вы работаете в чистой комнате класса 100, вы знаете, как это ужасно: один-единственный микроскопический кусочек поврежденного материала может испортить всю партию продукции.
Поэтому мы используем инфракрасные лампы из высокочистого синтетического кварца. Они просто эффективны в своей работе.
Почему важен кварц
Большинство стандартных образцов кварца содержат примеси. При повышении температуры эти примеси разлагаются, выпуская микрочастицы в воздух. Это крайне нежелательно.
Мы используем высокочистый фьюзированный кремний. Он не кристаллизуется и не выделяет частиц при резких изменениях температуры. Он остается на месте.
Принцип работы такой лампы довольно интересен: инфракрасное излучение погружает жидкость на поверхности пластины и заставляет ее испаряться практически мгновенно. Поскольку мы используем коротковолновое излучение, энергия направляется непосредственно на воду. Не нужно нагревать всю камеру лишь для того, чтобы высушить одну пластину.
Как избавиться от лишних элементов
Мы тщательно изучили конструкцию лампы и отказались от использования обычных клеев и дешевых смол. Эти материалы представляют опасность: при высоких температурах они выделяют газы и оставляют химический слой на датчиках.
Вместо этого мы используем механические уплотнения и сплавы, способные выдерживать высокие температуры без повреждений.
Вы заметите, что поверхность лампы имеет зеркальную гладкость. Это не для внешнего вида; это значит, что нет места, где могли бы застрять частицы. Еще один совет: если вы подключаете лампу в высокоплотную сетку, обеспечьте стабильное питание. Если происходят скачки напряжения, филамент будет вибрировать. Это приведет к быстрому износу лампы.
Реальность
Высокочистый кварц довольно хрупок. Он может выдерживать термические удары, но не может выдерживать физические нагрузки. Если в вашей системе много механических вибраций, вам потребуются устройства для снижения вибраций.
Также обращайте внимание на систему выпуска воздуха. Из-за высокой температуры необходимо быстро удалять влагу. В противном случае конденсат может скапливаться на краях пластин.